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              PR式等離子處理設備
              產品簡介
              真空等離子體處理設備適用于產品表面凈化、活化、粗化、刻蝕及接枝,可以用于處理各種材料,包括高分子材料,金屬或半導體等。
              產品優勢
              • 人機交互系統
              • 適用于結構復雜的3D工件
              • 不改變機體固有特性,改性僅發生在表面
              • 全程干法處理,無污染
              • 低溫處理,適用于熱敏感材料
              • 高穩定性,使用壽命長
              • 低能耗,低保養費用
              產品應用
              • 生物醫療:培養皿,生物導管,等離子殺菌
              • 電子行業:半導體,PCB
              • 光學玻璃
              • 汽車行業
              • 手機行業
              • 涂裝印刷
              • 家用電器
              • 合成纖維
              產品參數
              供給需求
              • 電源:380V/50Hz,三相,15A
              • 工藝氣體:輸入壓力0.2MPA
              • 吹掃氣體:輸入壓力0.2MPA
              • 壓縮空氣:輸入壓力0.6MPA
              可選配置
              • 1%精度的真空規
              • 循環水冷機
              • 壓力控制器
              • 指示燈柱
              • 耐腐蝕性氣體的MFC
              • 真空泵

              設備型號

              技術配置

              PR-80

              PR-130

              外形尺寸

              980x950x1650mm

              1050x1020x1750mm

              反應腔尺寸

              450x400x450mm

              530x520x460

              真空腔體材料

              鎂鋁或316不銹鋼

              真空泵

              油泵/干泵(羅茨組合)

              角閥

              超高真空KF40

              流量控制器及顯示儀

              MKS 0-500 sccm

              真空顯示規管及讀取器

              ULVAC,INFICON

              射頻電源

              13.56 MHZ

              PLC系統

              西門子

              電器系統

              施耐德

              變頻器

              西門子2KW

              觸摸屏

              10.7寸

              處理氣體

              O2 Ar2 N2 H2 CF4

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